千級烘箱
- 產(chǎn)品名稱：千級烘箱
- 產(chǎn)品型號：RSD-COL-620H
- 產(chǎn)品廠商：榮仕達
- 產(chǎn)品文檔：
千級烘箱
的詳細介紹RSD-COL-620H千級烘箱技術(shù)參數(shù)：
千級潔凈烤箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵烤箱參數(shù)資料：
一．特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 1000/100/10
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進口SUS304#2mm厚之鏡面不銹鋼板或國標鏡面不銹鋼材質(zhì)，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避
免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
二．執(zhí)行與滿足標準
1.GB/T11158-1989高溫烘烤技術(shù)條件
2.GB2423.2-1989標準B
三．用途
無塵烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
無塵潔凈烘箱溫度選配60～250℃（300℃）
四．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號：RSD-COL-620H
2.主要技術(shù)指標：
2.1無塵等級：Class 1000;
2.2溫度范圍： 60～250℃（300℃）；
2.3溫度均勻度：±2.5℃;
2.4溫度波動度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式。
2.7工作尺寸：W800×H1300×D600
2.8電源：380v , 50Hz，8.5Kw
3、千級烘箱箱體結(jié)構(gòu)：
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內(nèi)膽材料：采用進口SUS304#之鏡面不銹鋼板或國標鏡面不銹鋼材質(zhì)，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進口SUS304#鏡面不銹鋼板或國標鏡面不銹鋼材質(zhì)，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密加工(防污染)。
4、溫控系統(tǒng)
4.1采用三菱PLC觸摸屏加日本OMRON E5A型溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動演算、薄膜設(shè)定，**度±0.3% FS；
4.2訊號來源：采日制進口BA感應(yīng)棒±0.5%。
4.3輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。
5、完善的**保護措施：漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、超溫防止保護裝置、電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、機臺異常蜂鳴器警示逆向防止器、門面**開關(guān)
6、無塵烘箱選購設(shè)備：
6.1 可程式溫控器
6.2六點溫度記錄儀
6.3雙色指示燈
6.4烘烤架
RSDCOL系列智能千級烘箱（型號規(guī)格表）
|
容積 |
型號 |
控溫范圍 |
控溫精度 |
電源電壓 |
內(nèi)膽尺寸（mm） |
層數(shù) |
|
70L |
RSD-COL-070H |
RT-250℃ |
±1℃ |
220V/50Hz |
W400*D350*H500 |
2層 |
|
180L |
RSD-COL-180H |
RT-250℃ |
±1℃ |
220V/50Hz |
W600*D600*H500 |
2層 |
|
270L |
RSD-COL-270H |
RT-250℃ |
±1℃ |
380V/50Hz |
W600*D500*H900 |
3層 |
|
340L |
RSD-COL-340H |
RT-250℃ |
±1℃ |
380V/50Hz |
W700*D700*H700 |
3層 |
|
620L |
RSD-COL-620H |
RT-250℃ |
±1℃ |
380V/50Hz |
W800*D600*H1300 |
4層 |
|
640L |
RSD-COL-640H |
RT-250℃ |
±1℃ |
380V/50Hz |
W800*D800*H1000 |
4層 |
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